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[国外] Intel/美光25nm工艺晶圆厂一日游[23p]

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Intel/美光25nm工艺晶圆厂一日游[23p]

上周末,Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。


位于雪山脚下的IMFT工厂


工厂结构,制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。


进入无尘室之前的“打包”过程。(由于无尘室内部的严格要求,实际上以下内部照片均来自IMFT官方)


晶圆厂内走廊,顶端的自动运输系统(AMHS)正在以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。每个运载器都搭载了一个FOUP(前端开口片盒),其中可装载最多25片300mm晶圆。


厂内地面全部打孔,保证空气从上向下流通,将落尘可能减到最小。


FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上,后面的那个正在被AMHS吊起。




几乎所有制造过程均为自动完成,因此厂内大部分工人的工作就是保证这些设备正常运行。







化学机械抛光(CMP)车间


照明受限的光刻车间


一块光刻掩膜,光刻过程简单的说就是将这块掩膜上图案“缩印”到晶圆上。


光刻过程中的“校准”


实时缺陷监测(RDA)


FOUP片盒中的300mm晶圆


PCper记者手持一片25nm工艺300mm晶圆,总容量超过2TB。











300mm晶圆



每片闪存颗粒die容量为8GB(每格2GB),面积167平方毫米。



Intel副总裁,NAND闪存业务总经理Tom Rampone手持25nm颗粒





尺寸对比




从左到右分别是:


2003年130nm工艺128MB,2005年90nm工艺512MB,2007年50nm工艺1GB,2009年34nm工艺4GB以及现在的25nm工艺8GB闪存。最右侧是标准的TSOP闪存封装尺寸。
使用25nm工艺闪存,只需要单die芯片即可造出Class 10级SD卡。Intel计划,今年将基于该闪存造出最大600GB的固态硬盘,而美光甚至计划最大推出1TB SSD。

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半导体的发展速度真是太快了!到了后期还能延续摩尔定律的神话吗?

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刚刚才32NM,那么快就25NM了,进步得实在太快了,我连45NM都没用上

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INTEL这种高科技看起来真实眼花缭乱,太赞了

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2012年的时候能实现10NM么?
可怜的我还在用着65NM的技术

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无尘加工环境,微晶技术苛刻的研发环境才能出好东西。

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我还在用着130nm技术的计算机呢,存储的容量现在其实已经够大的了,现在数据的安全性也很重要

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超级现代化工厂的典范,这样的工厂造价非常的高昂。不过在这样的工厂上班应该不错吧。

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这地方不是说不给拍照片的吗
楼主这些照片应该是很久以前的

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看来固态硬盘的价格大规模走低已经不远了,不过虽然不怕磕碰,但是固态硬盘的读写次数寿命还是没有传统硬盘好,这个才是致命的问题,谁能解决,谁就是以后存储的老大。

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